GB/T 42902-2023碳化硅外延片表面缺陷的测试　激光散射法.pdf

ICS77.040 CCSH21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42902 2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 — Testmethodforsurfacedefectsonsiliconcarbideeitaxialwafers p Laserscatterin method g 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42902 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本文件起草单位 安徽长飞先进半导体有限公司 广东天域半导体股份有限公司 安徽芯乐半导体 、 、 、 、 有限公司 南京国盛电子有限公司 浙江芯科半导体有限公司 河北普兴电子科技股份有限公司 中国科 学院半导体研究所。 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。 本文件主要起草人 钮应喜 袁松 张会娟 刘敏 仇光寅 李京波 彭铁坤 袁肇耿 杨龙 闫果果 Ⅰ / —