GB/T 42789-2023硅片表面光泽度的测试方法.pdf

ICS77.040 CCSH21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42789 2023 硅片表面光泽度的测试方法 Testmethodforlossofsiliconwafer g 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42789 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本文件起草单位 浙江金瑞泓科技股份有限公司 浙江海纳半导体股份有限公司 有色金属技术经 、 、 、 济研究院有限责任公司 天津中环领先材料技术有限公司 山东有研半导体材料有限公司 上海合晶硅 、 、 、 材料股份有限公司 麦斯克电子材料股份有限公司 广东金湾高景太阳能科技有限公司 浙江旭盛电子 、 、 ( ) 。 有限公司 巢湖学院 金瑞泓科技 衢州 有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本文件主要起草人 梁兴勃 李琴 张海英 林松青 潘金平 李素青 张雪囡 由佰玲 边永智 庄智慧 、 、 、 、 、 、 。 沈辉辉 焦二强 韩云霄 徐志群 付明全 詹玉峰 王可胜 Ⅰ /