GB/T 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法.pdf

ICS77.040 CCSH 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT35306 2023 代替 / — GBT35306 2017 、 硅单晶中碳 氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 Determinationofcarbonandox encontentinsinlecrstalsilicon— yg g y Lowtem eraturefouriertransforminfraredsectrometrmethod p p y 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT35306 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 / — 《 、 》, 本文件代替 硅单晶中碳 氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 与 GBT35306 2017 / — , , : GBT35306 2017相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下 ) ( , ); 更改了适用范围 见第 章 年版的第 章 a 1 2017 1 ) ( , ); 更改了方法原理 见第 章 年版的第 章 b 4 2017 4 ) ( , ); 更改了干扰因素 见第 章 年版的第 章 c 5 2017 5 ) ( ,