具有预定宽度的原子层金属二硫属元素化物的直接图案化生长方法.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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具有预定宽度的原子层金属二硫属元素化物的直接图案化生长方法.pdf

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本发明题为“具有预定宽度的原子层金属二硫属元素化物的直接图案化生长方法”。本发明提供了一种生长金属二硫属元素化物原子层的图案的方法，该方法包括提供基底；在基底上提供碳纳米结构的对准图案；提供与碳纳米结构的图案的第一部分接触的第一金属部分和与碳纳米结构的图案的第二部分接触的第二金属部分；在基底和碳纳米结构的图案上沉积盐层；电阻加热碳纳米结构的图案以从基底去除碳纳米结构的图案和沉积在碳纳米结构的图案上的盐，其中从基底去除碳纳米结构的图案和沉积在碳纳米结构的图案上的盐在基底上提供盐图案；以及在盐图案上

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111640648 A (43)申请公布日 2020.09.08 (21)申请号 20201