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一种键合墙体扇出器件的三维封装结构,器件第一表面具有功能区和若干焊盘;其特征在于:器件除第一表面外具有包封材料;在器件第一表面制备有墙体结构并延展至包封材料第一表面,该墙体结构局部覆盖至少一焊盘且在焊盘处设有第一开口;设置有一盖板与墙体结构粘结,并在器件的功能区形成空腔结构,盖板上具有至少一个与第一开口相通的第二开口;盖板表面设置有金属互连结构通过第一开口、第二开口与焊盘电性连接。本实用新型能提高整体结构可靠性,降低风险、降低成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210200699 U (45)授权公告日 2020.03.27 (21)申请号 20192
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