用于处理腔室的腔室部件、用于处理腔室的屏蔽的设计膜以及处理腔室.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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用于处理腔室的腔室部件、用于处理腔室的屏蔽的设计膜以及处理腔室.pdf

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于此公开用于处理腔室的腔室部件、用于处理腔室的屏蔽的设计膜以及处理腔室。在一个实施方式中，用于处理腔室的腔室部件具有基底部件主体。所述基底部件主体具有外部表面，所述外部表面经配置以面对所述处理腔室的处理环境。纹理化表层顺应于所述外部表面。纹理化表层具有第一侧及第二侧，所述第一侧经配置以设置抵靠所述外部表面，所述第二侧背对所述第一侧。所述第二侧具有多个设计特征，所述设计特征经配置以在所述处理腔室的使用期间增强所述纹理化表层上所沉积材料的附着性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210156345 U (45)授权公告日 2020.03.17 (21)申请号 20179