一种晶圆切割进料装置.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种晶圆切割进料装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆切割进料装置，包括导轨及与导轨滑动连接的送料机构，送料机构包括滑框、气缸、伸缩杆、储气盒、吸盘和气泵，滑框与导轨滑动连接，气缸固定安装在滑框下表面，伸缩杆与气缸的活塞杆固定焊接，储气盒固定安装在伸缩杆下端，吸盘固定安装在储气盒下表面，本实用新型结构简单，滑框通过丝杆电机转动能够在导轨上移动，通过气缸伸缩使吸盘压在晶圆表面，通过气泵吸气，晶圆能够稳定的吸附在吸盘上，此时通过滑框移动至放料的合适位置，然后气泵放气，晶圆能够脱离吸盘，能够实现晶圆的稳定输送，通过弹簧的弹力作用，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210136861 U (45)授权公告日 2020.03.10 (21)申请号 20192