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ICS31.200 CCSL59 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42896 2023 微机电系统( )技术 MEMS 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 ( ) — Micro-electromechanicalsstemsMEMS technolo y gy Im acttestmethodfornanostructuresofsiliconbasedMEMS p 2023-08-06发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42896 2023 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 要求 ……………………………………………………………………………………………………… 2 5 试验方法 ………………………………………………………………………………………………… 4 ( ) ……………………………………………………… 附录 资料性 原位片上冲击试验机尺寸建议 A 6 ( ) ………………………………… 附录 资料性 原位片上热驱动纳尺度结构冲击试验机测试实例 B 7 Ⅰ / — GBT42896 2023 前 言 / — 《 :
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