真空腔室的狭缝阀装置.pdfVIP

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2023-08-18 发布于四川
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真空腔室的狭缝阀装置.pdf

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本实用新型是一种真空腔室的狭缝阀装置，包括致动器、定位组件、连杆机构及挡掣组件。致动器具有致动杆；定位组件包含下定位座及一对定位板，定位板成型有滑槽及定位槽；连杆机构包含基座、肘节连杆组、滑块连杆，且滑块设置有滑轮，连杆机构在致动器的驱动下带动滑块移动从而令滑轮在滑槽中移动及定位在定位槽中；挡掣组件包含结合连杆的挡块及挡板，挡板在滑轮定位在定位槽中时会朝真空腔室的开口的方向移动，并在连杆的带动下进行压掣，以简化狭缝阀装置的结构，并提高真空腔室的开口上密封元件的使用寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210135234 U (45)授权公告日 2020.03.10 (21)申请号 20192