光伏电池两面镀膜装置.pdfVIP

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2023-08-18 发布于四川
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光伏电池两面镀膜装置.pdf

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本实用新型公开了一种光伏电池两面镀膜装置，包括上下料机、工作台机柜、主机柜和气源柜，工作台机柜承载硅片放置到主机柜中，主机柜至少包括若干个二合一管式PECVD反应腔，每个二合一管式PECVD反应腔至少配备镀氧化铝和氮化硅膜的气路并由气源柜供气，上下料机对每个二合一管式PECVD反应腔进行下料和上料，并在下料和上料之间完成硅片的翻面操作。本实用新型通过一台管式PECVD设备兼备电池正面和背面镀膜工艺，与上下料机配合，使一台设备实现光伏电池的双面镀膜，不需要在不同设备之间转移，减少物料转运工序，有效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210127271 U (45)授权公告日 2020.03.06 (21)申请号 20192