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本发明提出的一种压电石英晶片清洗的方法采用的技术方案包括去砂超洗、配制浸泡液、浸泡、去除浸泡液、纯水超洗、控水甩干、检验洁净度七个步骤,本发明完成石英晶片的去砂超洗后,通过使用柠檬酸配制的柠檬酸浸泡液,去除石英晶片表面的铁锈;通过设置纯水清洗槽,将石英晶片依次放入纯水清洗槽中进行超洗,纯水超洗后控水、甩干,得到结净的石英晶片。本发明一种压电石英晶片清洗的方法通过使用柠檬酸配制浸泡液杜绝了盐酸或硫酸的使用,不涉及危险化学品,消除安全隐患;使清洗完的石英晶片洁净无水渍、污渍,符合石英晶片的质量要求的
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116564797 A (43)申请公布日 2023.08.08 (21)申请号 202310383404.2 (22)申请日 2023.04.12 (71)申请人 北京石晶光电科技股份有限公司 地址
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