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本实用新型公开了一种放膜装置，包括送膜滑动座、分膜组件、以及分膜升降驱动组件；分膜升降驱动组件包括分膜连接杆、分膜固定板、分膜升降杆、分膜升降板、以及设于分膜固定板的分膜升降驱动件；分膜组件与分膜升降杆远离分膜升降板的一端相连，分膜升降板与分膜升降驱动件的输出端相连。分膜升降驱动件带动分膜升降板沿分膜升降杆的轴线方向做上升运动，与分膜升降杆的另一端相连的分膜组件随着分膜升降板做同步的上升运动，进而带动分膜组件整体做上升运动，进而将分膜组件上升至一定的高度，使得被分膜组件分离出的干膜以高于晶圆的表
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210026297 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192
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