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2023-08-07 发布于四川
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切膜装置.pdf

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本实用新型公开了一种切膜装置，包括切割台、切割组件、以及用于带动切割组件移动的移动驱动组件；切割台的中部设有真空吸盘，切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；切割组件包括与移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于切割固定台且用于驱动切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。附着于带状干膜的晶圆随着干膜带的移动并到达切割台的正上方时，切割台上的真空吸盘将晶圆吸住定位，移动驱动组件将切割组件带动至晶圆的正上方，切割驱动组件带动切刀组件沿着晶圆的边界对干膜进行切割，使得晶圆与干膜带整体分离，进

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210025469 U (45)授权公告日 2020.02.07 (21)申请号 20192