SN_T 3480.3-2016进口电子电工行业成套设备检验技术要求 第3部分：平板显示器制造专用设备.pdf

SN中华人民共和国出入境检验检疫行业标准SN/T 3480.3-2016进口电子电工行业成套设备检验技术要求第3部分：平板显示器制造专用设备Technical requirements for the inspection of complete set of equipment inelectronic and electrical industry for import-Part 3 : Machinery and equipmentfor flat panel display2016-08-23 发布2017-03-01实施中华人民共和国发布国家质量监督检验检疫总局刮涂层查真伪 SN/T 3480.3—-2016前 言SN/T3480《进口电子电工行业成套设备检验技术要求》共分为4个部分：第1部分：印刷线路板表面贴装设备；一第2部分：电线电缆制造专用设备；第3部分：平板显示器制造专用设备；第4部分：半导体封装测试设备。本部分为SN/T3480的第3部分。本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本部分由国家认证认可监督管理委员会提出并归口。本部分起草单位：中华人民共和国厦门出人境检验检疫局、中华人民共和国江苏出入境检验检疫局。本部分主要起草人：颜伟民、钟碧菊、黄滢涵、姜克、游聚民、曾志峰、魏彧展、陈靖源、蓝振毅、甘露、朱黄鑫。 SN/T 3480.3--2016进口电子电工行业成套设备检验技术要求第3部分：平板显示器制造专用设备范围SN/T3480的本部分规定了进口平板显示器制造专用设备的检验技术要求。本部分适用于平板显示器制造专用设备（参见附录A、附录B)的检验，该范围之外的平板显示器制造专用设备亦可参照使用。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3797—2005电气控制设备GB5959.1-2005　电热装置的安全第1部分：通用要求GB/T17626.1·电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论GB/T20801（所有部分）压力管道规范工业管道SN/出口成套设备检验技术要求通则中华人民共和国特种设备安全法（中华人民共和国主席令第四号）特种设备安全监察条例（中华人民共和国国务院令第549号）3术语和定义SN/T3700--2013界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1平板显示器flat panel display;FPD显示屏对角线的长度与整机厚度之比大于4：1的显示器件。3.2平板显示器制造专用设备 machinery and equipment for flat panel display制造平板显示器所使用的具有该行业工艺特点的专用设备。4技术要求4.1总要求应符合 SN/T 3700-—2013中 4.1的要求。4.2安全项目要求4.2.1机械安全要求应符合 SN/T 3700—2013中4.2.2的要求。 SN/T 3480.3--20164.2.2电气安全要求应符合 SN/T 3700--2013中4.2.3的要求。热处理设备金属炉壳的接地或接零保护装置应符合GB5959.1--2005中11的要求。化学气相淀积（CVD)设备对地绝缘电阻应≥5MQ2，电磁兼容性应符合GB/T17626.1的要求。磁控溅射设备应有防止触电的保护设施，且应符合GB/T3797-2005中的要求；介电强度应符合GB/T3797-—2005中4.8的要求；绝缘电阻应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；应有专用的铜缆接地装置；电控柜的安全接地保护应符合GB/T3797-2005中4.10.6的要求。曝光机的绝缘电阻2MQ；初级电路与机壳之间的耐压测试应能承受1500V交流电压，测试时间1min，测试漏电流设定1.0mA，不得发生击穿和放电现象。晶片压着机和软性电路板压着机的接地电阻52。4.2.3安全防护装置、警示方式要求应符合 SN/T 3700--2013中 4.2.4的要求。化学气相淀积(CVD)设备应具备温度偏差报警提示功能、流量偏差报警提示功能、反应室（管）压力异常报警提示及安全防护措施、停水报警及联锁措施、防止误操作的安全保护措施。4.2.4非机械安全要求应符合SN/T3700-—2013中4.2.5的要求。化学气相淀积（CVD)设备应具备超温报警及安全防护措施、断偶报警及安全防护措施。4.2.5物质和材料安全要求应符合SN/T 3700—2013中4.2.6的要求。化学气相淀积(CVD)设备反应残余气体应使用强排风装置排出净化间，如果反应气体为有毒有害等危