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本发明公开了一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，包括如下步骤：步骤1，干燥箱静置干燥；步骤2，静电释放；步骤3，震动处理；步骤4，第一段超声波清洗；步骤5，第二段超声波清洗；步骤6，喷淋冲洗；步骤7，加热喷气干燥；步骤8，抽真空加热干燥；步骤9，静置干燥；步骤10，真空包装。本发明通过在用水体清洗前，对盒体进行干燥，再对盒体进行静电释放，降低盒体中粒子附着能力，然后在干燥情况下通过震动处理，使得附着在盒体上的粒子脱离盒体，让粒子能更快速、彻底地掉落，然后进行水体清洗，从而使得清洗更加干净。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116511176 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310416119.6 F26B 21/00 (2006.01)
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