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本发明提供一种图像椭偏数据处理方法,属于成像椭偏图像处理和数据分析技术领域,本发明由两部分组成,包括图像处理和数据拟合反演。图像处理用于解决斜入射图像畸变,所涉及的基础算法主要是单应性变换;数据拟合反演用于根据椭偏参数获取人们感兴趣的物理量(如光学参数和电学参数等),拟合所涉及的基础算法为遗传算法,反演所设计的基础为色散模型。采用单应性变换将所得灰度图还原;完善成像椭偏系统根据椭偏参数的测量结果优化反演有应用价值的物理量的过程。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116522634 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310451168.3 (22)申请日 2023.04.25 (71)申请人 浪潮软件科技有限
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