一种辅助转移的转移工装及其应用.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种辅助转移的转移工装及其应用.pdf

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本发明涉及一种辅助转移的转移工装及其应用，所述转移工装包括：转移基板、设于转移基板上表面的界面改性层，转移基板与界面改性层上设有阵列化的通孔结构。所述通孔可对所述转移工装表面溶液进行有效分流，减小了所述转移工装对溶液升降的阻力与薄膜的滑移；所述转移工装可依据需要发生临时或永久性形变且表面可控，在溶液水位下降时便于对待转移物下方的溶液进行导流，提高待转移物贴合平整度，在溶液水位上升时待转移物又可从该表面剥离，利用所述转移工装即可在一个溶液池内辅助完成待转移物的转移，避免了待转移物在多个溶液池间转移

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525523 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310421963.8 (22)申请日 2023.04.19 (71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术