一种电镀装置及方法.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种电镀装置及方法.pdf

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本公开涉及一种电镀装置及方法。所述装置包括：多个电镀槽，用于装置电镀溶液，所述多个电镀槽包括至少一个第一类电镀槽和至少一个第二类电镀槽；每个所述第一类电镀槽中设置一个或者多个第一阳极板，每个所述第二类电镀槽中设置一个或者多个第二阳极板；每个所述第一类电镀槽中的第一阳极板与一个恒压源电性连接，每个所述第二类电镀槽中的第二阳极板与一个恒流源电性连接；待镀元件在电镀时先经过恒压源对应的第一阳极板后，再经过恒流源对应的第二阳极板。采用本装置能够保证电镀质量的同时，提升电镀效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116516452 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310405540.7 (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址