一种高效节水型半导体晶圆酸洗装置.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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一种高效节水型半导体晶圆酸洗装置.pdf

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本发明公开了一种高效节水型半导体晶圆酸洗装置，包括装置主体、调节架和酸洗框，所述装置主体的顶部安装有调节架，所述连接架的正面安装有酸洗框，所述酸洗框的内壁上安装有转动座，所述电动伸缩杆的输出端安装有夹持框，所述夹持框的内壁上安装有限位框。本发明通过在酸洗框的外侧贯穿安装有传动转轴，超声波发生器工作对半导体晶圆表面附着的有机物颗粒和金属杂质等进行超声清洗，半导体晶圆杂质酸洗过程中电动机二运行带动最下方转动座转动，皮带轮对电动机二的转动力进行传动，其余两组转动座在传动转轴的传动下作用带动电动伸缩杆持

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116525527 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310482591.X (22)申请日 2023.05.02 (71)申请人江苏晟驰微电子有限公司地址 2