JB_T 6841-1993电子光学仪器术语.pdf

JB中华人民共和国机械行业标准JB / T 6841-93电子光学仪器术语1994-01-01实施1993-07-09发布中华人民共和国机械工业部发布 中华人民共和国行业标准JB /T6841-93电子光学仪器术语1 主题内容与适用范围本标准规定了电子光学仪器总类、电子光学系统、真空系统、电子学系统、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、电子探针X射线微区分析仪和样品制备及其它辅助装置等方面的术语共263条。本标准适用于电子光学仪器标准制订、技术文件编制、教材和书刊编写文献翻译等。电子光学仪器总类2.1 电子显微镜 electron microscope按电子光学原理用电子束使样品成象的显微镜。2.2 透射电子显微镜 transmission electron microscope （TEM）用透过样品的电子束使其成象的电子显微镜。2.3 扫描电子显微镜scanning electron microscope （SEM）用电子探针对样品表面扫描使其成象的电子显微镜。2.4 扫描透射电子显微镜scanning transmission electron microscope （STEM）电子束在样品上方扫描用透过电子进行扫描成象的电子显微镜。2.5电子探针X射线微区分析仪electron probe Xray microanalyzer利用电子探针在样品上激发X射线进行微区成分分析的仪器。2.6 电子束曝光机 electron beam exposure apparatus利用电子束扫描在工件上进行微细光刻的装置。2.7 电子束加工机 electron beam processing machine利用强电子束流在工件上进行微细加工的装置。2.8 反射电子显微镜 reflection electron microscape由样品反射的电子束使其成象的电子显微镜。2.9 发射电子显微镜 emission electron microscope由样品发射的电子束使其成象的电子显微镜。2.10 静电电子显微镜electronstatic electron microscope采用静电式电子透镜的电子显微镜。2.1l扫描隧道显微镜scanning tunnel microscope （STM）利用隧道电流效应产生扫描图象的显微镜。机械工业部1993—0709批准1994-0101实施 JB / T6841 -- 93电子显微镜图象中线性尺寸与相应样品上实际尺寸之比值。6-29照明亮度 illumiating brightness落到被照表面上单位面积单位立体角范围内的电子束流。6.30 衬度contrast电子图象中亮度的差别。6.31 景深 depth of field电子显微镜的成象平面位置不变，在一段距离内移动物体都能得到清晰的图象，这段距离称景深。6.32 焦深 depth of focus电子显微镜的物平面位置不变，而移动成象荧光屏，在一段距离内都能得到清晰的象，这段距离称为焦深。6-33费涅尔衍射条纹Fresnal diffraction string电子束照射在一个不透明的或半透明的边上，照明直射波与边缘产生射次级干涉后产生的条纹。6. 34 离焦衬度 defocus contrast透射电子显微镜图象精确聚焦后，物镜稍微离焦，所形成的图象衬度称为离焦衬度。6. 35 位相衬度 phase contrast电子显微镜在最大放大倍率和最高分辨力时，电子束穿过样品后，不同光程电子波产生干涉而产生图象颗粒性，称为位相衬度。6 36　电子噪声　electron noise由于电子枪灯丝随机地发射电子，导致电子束本身的不均匀性，称为电子噪声。6-37无旋转成象non .rotational imaging透射电子显微镜改变放大倍率最终象不发生图象旋转。6-38 灯丝象 filament image透射电子显微镜灯丝加热到略低于饱和状态时所见到的灯丝发射象。6-39 场发射电子象 field emission electron image灯丝在强电场作用下发射出电子直接形成的电子图象。6.40 弹性散射 elastic scatter透射电子显微镜人射电子受样品原子中原子核散射，电子能量损失很小，散射角度大（10-2）为弹性散射。6-41 非弹性散射 inelastic scatter透射电子显微镜人射电子与样品中原子的外围电子散射电子能量损失大而散射角度小（103）时为非弹性散射。6-42 Zoom透镜 Zoom lens透射电子显微镜成象系统倍率改变后，图象仍保持清晰聚焦，称此为Zoom透镜。7扫描电子显微镜术语7.1普及型扫描电子显微镜popular scanning electron microscope分辨力劣于10n