《单晶炉能源消耗规范》.docxVIP

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SJ/T XXXXX-XXXX PAGE PAGE 1 SJ/T XXXXX-201X PAGE PAGE 6 SJ FORMTEXT 中华人民共和国工业和信息化部???发布202X - XX - XX实施202X - XX - XX发布单晶炉能源消耗规范Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower SJ FORMTEXT 中华人民共和国工业和信息化部???发布 202X - XX - XX实施 202X - XX - XX发布 单晶炉能源消耗规范 Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower (征求意见稿) 在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。 / XXXXX—202X 中华人民共和国电子行业标准 ICS 31-550 L 01 备案号: SJ/T XXXXX—20XX PAGE 3 SJ/T XXXXX-202X PAGE PAGE 2 单 晶 炉 能 源 消 耗 规 范 范围 本标准规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。 本标准适用于装料量为360kg~430kg的单晶炉。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 2587 用能设备能量平衡通则 GB/T 2589 综合能耗计算通则 GB/T 3484 企业能量平衡通则 GB/T 12723 单位产品能源消耗限额编制通则 GB 17167 用能单位能源计量器具配备和管理通则 术语和定义 GB/T 12723中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 电耗 企业在统计报告期内,按照规定的计算方法,将生产的产品所消耗的全部电量称为电耗,单位为千瓦时(kW·h)。 单位可比电耗 企业在统计报告期内,单晶炉生产每千克单晶硅棒的实耗电能量称为单位可比电耗,单位为千瓦时每千克(kW·h / kg)。 能源消耗等级指标 单晶炉能源消耗等级指标应符合表1的规定。 表1 单晶炉能源消耗等级指标 单位可比电耗 /( kW·h/ kg) 一级 二级 ≤30.0 30.0≤40.0 单位可比电耗计算方法 单晶炉的单位可比电耗() ………………(1) 式中: —— 统计期内单晶炉实耗电能量,单位为千瓦时(kW·h) ,计算方法见公式(2); mz —— 统计期内该设备合格产品的产量,单位为千克(kg) 。 实耗电能量(E) E = E1+E2+E3 ………………(2) 式中: E1—— 系统(包括控制装置,不包括磁场))消耗的电能量,单位为千瓦时(kW·h); E2—— 冷却水折合电能量, 单位为千瓦时(kW·h),计算方法见公式(3); E3—— 氩气折合电能量, 单位为千瓦时(kW·h),计算方法见公式(4)。 冷却水折合电能量(E2 ) E2=β2·N2 ………………(3) 式中: β2——冷却水的折电系数, 单位为千瓦时每吨(kW·h / t),当使用自来水时β2 =0.6364 ,当使用循环 水时其折电系数按每吨水的耗电量计算 ; N2——冷却水消耗量, 单位为吨(t) 。 氩气折合电能量(E3) E3=β3·N3 ………………(4) 式中: β3——氩气的折电系数, 单位为千瓦时每立方米(kW·h / m3),β3=3.16 ; N3——氩气消耗量(标态),单位为立方米(m3)。 注:标态是标准状态的简称,指的是温度为0℃、压力为101325 Pa时的状态。 合格产品产量的计算 单晶炉合格产品产量是指统计期内单晶炉拉出的经检验合格的单晶硅棒的整体质量(包括头尾)之和。 单晶炉能耗的统计计算表用于评价,见附录A;现场测试计算表用于检查和自检,见附录B。 评价原则 单晶炉的单位可比电耗小于或等于 30.0 kW·h / kg 的,能耗达到一级指标。 单晶炉的单位可比电耗在30.0 kW·h/ kg以上且小于或等于40.0 kW·h / kg的,能耗达到二级指标。 PAGE PAGE 5 PAGE PAGE 4 附 录 A (规范性附录) 单晶炉能耗统计计算表 单晶炉能耗统计计算表 单晶炉名称

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