JC_T 2133-2012半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法.pdf

ICS 71. 040C 14JC备案号：389762013中华人民共和国建材行业标准JC/T 2133-2012半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定，电感耦合等离子体原子发射光谱法Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductorindustry--Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method2012-12-28 发布2013-06-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 中华人民共和国建材行业标准半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法JC/T 2133--2012*中国建材工业出版社出版建筑材料工业技术监督研究中心(原国家建筑材料工业局标准化研究所)发行新华书店北京发行所发行各地新华书店经售地矿经研院印刷广印刷版权所有不得翻印*开本880×1230　1/16印张0.75　字数20千字2013年5月第一版　2013年5月第一次印刷书号：155160·188*编号：0843网址 : 电话：(010址：北京朝阳区管庄东里建材大院北楼邮编：100024本标准如出现印装质量问题，由发行部负责调换。 JC/T 2133—2012B.4合成标准不确定度的评定B.4.1各分量不相关，以各分量的相对标准不确定度的方和根求相对合成标准不确定度：G1uere (cm )= Ju?(c)+ u(s.)+ u(cs)+ u(v)(B. 8)B. 4.2由相对合成标准不确定度 ucrel(cM)计算合成标准不确定度 uc(cM):u (cM )=CM X ucre(cm )(B. 9)B.5扩展不确定度的评定通常取95%置信水平，包含因子k=2，计算扩展不确定度：U = u.(c )x2(B. 10)B.6 测量结果以及不确定度的表达测量结果的不确定度以扩展不确定度表示。通常扩展不确定度与测量结果一起表示，并说明包含因子k值。示例：用电感耦合等离子体原子发射光谱法测定硅溶胶中铁的含量为0.13μg/mL，评定的扩展不确定度U为0.01ug/mL，则铁的测量结果和不确定度可表示为：Cre = (0.13± 0.01)μg/mL, k = 2(B. 11)版权专有侵权必究水书号：155160·188JC/T 2133—2012 JC/T 2133--2012前言本标准按照GB/T 1.1一2009给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分技术委员会（(SAC/TC194/SC3)归口。本标准起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所。本标准主要起草人：陈奕睿、屈海云、邹慧君、汪正。本标准为首次发布。 JC/T 2133—2012半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法范围本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光（CMP）中抛光液用的各种硅溶胶。杂质元素包括：铝、钡、钙、铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14种元素。表114 种元素的检测范围浓度浓度元素元素μg/mLμg/mL.铝0.01~10镁0. 01~10钡0.01~5锰0.01~5钙0. 01~10钠0. 01~20铭0. 01~5镍0.01~5铜0.01~5钛0. 01~50. 01~5锌0.01~5钾0. 01~20锆0.01~52规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T 6682分析实验室用水规格和试验方法3方法提要试样通过相应的稀释处理或直接进样，在电感耦合等离子体炬焰中激发，发射出所含元素的分析线，根据待测元素分析线的强度测定相应元素的含量。4试剂与材料4.1实验用水：应符合 GB/T 6682 中规定的二级水。4.2盐酸：密度1.19g/mL，优级纯。4.3盐酸(1+1)：取盐酸(4.2)与水按照体积比1:1稀释。 JC/T 2133—20124.4单元素标准贮备溶液：14种单元素标准储备溶液按照GB/T602方法配制，或直接使用有证标准溶液，其质量浓度均为 1mg/mL;4.5混合标准溶液I：分别移取钾、钠2种单元素标准贮备溶液(4.4)各10.00mL于100mL容量瓶中，稀释至标线，摇匀。贮于塑料瓶中。此溶液钾、钠的浓度均为0.10 mg/mL。4.6混合标