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一种测试位于相应的装置试样上的一个或多个光电子装置的方法。所述装置试样存在于晶片上。所述方法包括:使用对应测试元件通过以下测试协议中的任一者测试所述一个或多个光电子装置,所述测试元件与所述装置试样位于同一晶片上:在第一测试协议中,操作所述光电子装置以产生光学输出并检测从受测试的所述光电子装置入射在所述测试元件上的光;或在第二测试协议中,由受测试的所述光电子装置检测从所述测试元件接收的所述光。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116472464 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202180064918.0 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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