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用于控制激光系统的设备和方法，该激光系统能够生成具有多个交替波长的激光辐射的脉冲的脉冲串，其中控制波长的元件被预定位在脉冲串之间，以处于其产生一个波长的位置与其产生另一波长的位置之间波长。还公开了一种使用二次规划、动态规划、反向前馈控制或迭代学习控制来确定元件在位置之间移动的最佳控制波形的系统。诸如预填充的查找表或现场可编程门阵列的数据存储装置可以用于针对多个重复速率中的每个重复速率存储至少一个最佳控制参数。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113826289 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080035506.X (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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