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本发明公开了一种基于电容感测的直线位移测量装置及方法,利用电容感测原理,上、下各放一个金属薄片,间隔固定的距离。下面的薄片固定不动,当上层金属薄片移动时,上、下两个金属薄片的重合面积将会发生变化,会导致金属薄片上的寄生电容发生改变。用高精度、数字式电容数字检测器FDC2214感知这种微弱变化,将其转换为高达28位二进制数的数字量输出。然后采用硬件抗尖峰滤波和软件抗尖峰滤波算法,通过微处理器进行计算后得到准确的位移信息。本发明解决了现有直线测量技术中量程和精度无法兼顾的难题,克服现有测量技术复杂、
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113720248 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202111018777.7 (22)申请日 2021.09.01 (71)申请人 西京学院 地址 71
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