掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置.pdfVIP

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2023-06-30 发布于四川
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掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置.pdf

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本申请公开一种掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置，属于显示技术领域。掩膜组件包括：至少一个蒸镀掩膜板。蒸镀掩膜板中具有多个蒸镀孔，该掩膜组件中的每个蒸镀孔用于在目标基板的一个目标区域中形成目标结构。该掩膜组件中的蒸镀孔的孔间距被配置为：使该掩膜组件和目标基板均处于目标环境中时，该掩膜组件中的蒸镀孔与目标基板中相应的目标区域对准，该目标环境的温度为目标温度。例如，目标结构为阴极。本申请可以保证在目标环境中采用该掩膜组件在目标基板上形成目标结构时，目标结构能够准确形成在目标基板的目标

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113690396 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202110984184.X C23C 14/04 (2006.01) (22)申请日 2021.08