一种薄膜材料样品的高通量制备装置.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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一种薄膜材料样品的高通量制备装置.pdf

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本发明提供一种薄膜材料样品的高通量制备装置，包括：壳体、材料释放装置、基台、固定掩膜板和活动掩膜板；材料释放装置设置在壳体的内腔中，用以向内腔中释放沉积材料的气相原子，基台具有位于在内腔中的承接面；固定掩膜板固定连接在承接面上，在固定掩膜板上设置有轴线与承接面的沉积孔，活动掩膜板体贴合在固定掩膜板的背对基台的表面上，在活动掩膜板上设置有能够与沉积孔相对应的流通孔，内腔中的气相原子能够通过流通孔进入沉积孔中，并在沉积孔内沉积在沉积表面上。其不仅结构简单、制作成本低廉，而且实现了小型化设计的要求，同

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116334573 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310341059.6 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人北京航空航天大学