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本发明旨在提供一种设计合理、自动化程度高、适应能力强且可有效保证测试精度的芯片OS测试设备。本发明包括安装板,所述安装板上设置有XY双轴移动机构和龙门架,所述XY双轴移动机构上设置有产品治具,所述龙门架上设置有Z轴移动机构,所述Z轴移动机构的动作端设置有与所述产品治具配合的可换探针机构,所述安装板上设置有定位CCD相机,所述定位CCD相机朝上且位于所述可换探针机构的正下方。本发明应用于芯片测试的技术领域。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116338433 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310334486.1 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人 珠海博杰电子股份
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