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本发明涉及物理气相沉积（PVD）技术领域，具体涉及一种用于DLC薄膜制备的多功能复合溅射平台，主要包括真空腔体及其支架、行星工件盘、导轨及定位机构、驱动机构。所述真空腔体通过门框坐在支架上并使用螺钉锁紧安装。所述导轨及定位机构和驱动机构安装在腔体底板上，安装部件中有绝缘材料制成的零部件，使驱动机构、导轨及定位机构和真空腔体之间绝缘。所述行星工件盘通过导轨及定位机构安装并锁紧在真空腔体中心，行星工件盘中同样具有绝缘材料制成的零部件，使固定支撑杆和自转工件轴与工件盘整体之间绝缘，从而可以使工件可以连
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116334543 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310348782.7 C23C 16/50 (2006.01)
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