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本发明涉及芯粒测试技术领域，特别涉及一种用于测试芯粒的针卡伺服控制设备、系统和方法。设备包括：固定架、芯粒安装部、针卡安装部、电机、编码器、伺服驱动单元、伺服控制单元、电流传感器和电源；伺服控制单元分别与伺服驱动单元、编码器、上位机连接，用于根据上位机发送的目标位置和编码器反馈的实时位置确定位置环的输出结果，然后根据实时位置确定当前时刻的预测速度，以根据位置环的输出结果、实时位置和当前时刻的预测速度确定速度环的输出结果；伺服驱动单元用于根据速度环的输出结果和实时电流，确定当前时刻的电流控制量，并
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116338411 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310602436.7 (22)申请日 2023.05.26 (71)申请人 中诚华隆计算机技术有限公司 地址
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