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本发明创造提供了一种基于自准直原理的小角度检查装置及其小角度检查方法，工作台由工作台转轴、工作台转轴座、位移执行器共同支撑放置在底座上；位移执行器能够自动发生高精度高分辨力位移，驱动工作台绕轴发生高精度高分辨力角度变化；自准直仪和自准直仪座固定放置在底座上，光轴和工作台轴线平行且处于同一高度上，通过测量工作台端面上的平面反射镜的角度变化来反映工作台的角度变化，由显示及主控模块实时接收角度测量数据并发送位移驱动信号，实现角度发生与测量的闭环反馈控制。本发明创造采用自动控制的方式实现高精度、快速角度
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116336995 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310476261.X (22)申请日 2023.04.28 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址 15000
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