一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置.pdf

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本发明提供一种晶圆搬运中滑片的实时检测方法及装置，所述方法包括：采集晶圆相对于末端执行器的实时图像；利用图像处理算法提取所述实时图像中的晶圆边缘和末端执行器的叉型搬运部边缘，并得到所述叉型搬运部边缘的暴露长度，据以判断所述晶圆是否发生滑片。本申请有效地解决了现有技术中无法及时检测到晶圆的轻微滑片，易造成碰撞等安全事故，经济损失较大等问题。本申请提供的一种晶圆搬运中滑片的实时检测装置不仅结构简单，且操作方便，能够及时快速地检测出晶圆搬运过程中晶圆滑片的发生与否，避免了晶圆滑片导致的安全事故，减少了

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344410 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310471397.1 (22)申请日 2023.04.26 (71)申请人中芯智达半导体科技（上海）有限公