一种晶圆沟槽腐蚀装置.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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一种晶圆沟槽腐蚀装置.pdf

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本发明公开一种晶圆沟槽腐蚀装置，涉及半导体器件生产技术领域，包括：工作台、转移机构、晶圆架、吹气机构。工作台上依次设有腐蚀池、收集池和清洗池；转移机构包括沿工作台长度方向移动的横杆，横杆上设有两个对称布置且相向移动的夹持模块，夹持模块包括两个对称布置的夹杆，夹杆沿竖直和横杆的宽度方向移动，用于夹持晶圆架；晶圆架有多个，分布于腐蚀池、收集池和清洗池内，晶圆架上设有承载框，用于承载晶圆；吹气机构设于收集池内，包括穿设于收集池中的传动轴，传动轴上设有两个转杆，转杆上设有多个吹气口，用于向晶圆架吹气。将

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116344411 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310603769.1 (22)申请日 2023.05.26 (71)申请人四川上特科技有限公司地址 62