一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法.pdf

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本申请公开一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域。MEMS热电堆紫外探测器，包括：MEMS热电堆紫外探测单元、纳米森林单元和设置在所述纳米森林单元四周表面的金属颗粒单元，所述纳米森林单元设置在所述MEMS热电堆紫外探测单元上方；所述金属颗粒单元用于增加紫外辐射吸收率，从而提升实现对10‑400纳米波段紫外辐射的高灵敏探测，在提高了探测灵敏度的同时扩大了检测范围。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116337226 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310513027.X (22)申请日 2023.05.08 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 1