ESDS2020技术要求的教案.pptxVIP

ESDS2020技术要求的教案第1页/共27页 技術要求(REF.S20.20 8)＊基本原則 1)所有導電體（包含人員）應接地，使處於等電位。 2)必要的非導電體，在環境中無法靠接地消失其ESD。 3)在EPA（Electrostatic Protected Area）外，運送ESDS　　物件要置於靜電保護物料內。＊依S20.20各表建立主要的技術要求（詳參考S20.20表一，　二，三）。＊包含在技術要求內ESD管制物料及設備要確認其資格，驗　收並定期測試。＊符合性查證計畫包含測試方法，允收範圍及週期性測試間　隔等。第2页/共27页 說明：表一（部分）技術要求實施流程／測試方法建議範圍接地／連接系統（8.1）設備接地／ESD S6.11.0 ohm AC阻抗輔助設備接地／ESD S6.125 ohm AC阻抗等電位連接／ESD S6.11.0?109 ohms個人接地（8.2）靜電環系統／ESD S1.1靜電環系統／ESD TR530.8?105-1.2?106 ohms（新品）35?106 ohms（定期）地板－鞋系統／ESD STM 9.1地板－鞋系統／ESD TR5335?106 ohms（新品，定期）第3页/共27页 技術要求－接地／等電位連接系統＊對ESDS物件，人員及其他導電體（如移動設備）有相同 電位。＊第三條導線（綠色）AC設備接地為最優選。＊若上述不可行，人員應載腕帶或其他接地系統，與ESDS 物件的導電部分連接。＊包含：設備接地，輔助設備接地，等電位連接及共同點接 地（Gp）。說明：1.測試方法及推薦範圍參考ANSI／ESD S20.20 表一2.設備接地與輔助設備接地要連接3.設備接地的技術要求：1.0 ohm AC阻抗第4页/共27页 如何接地（Grounding）?1.對工作區所有物件（作業台表面，人員， 設備等）連接到相同的接地點（Common point ground）。2.鑑別與標示ESD Common point ground。3.連接Common point ground到設備接地或 用第三線（綠）接地。4.連接所有ESD管制物件或手／工／治具…. 接地。第5页/共27页 說明：第6页/共27页 ESD防護技術要求(例)第7页/共27页 典型工作站接地(例)說明：等電位連接需1.0?109 ohms第8页/共27页 技術要求－人員接地＊當處理ESDS物件時，所有人員應與接地點連接（如：坐在ESD保護區的工作 人員 ，其靜電手環接到Gp）＊人員接地系統包含：人－管制物件（如腕帶，地板及鞋）－接地，並依據 S20.20表二予以選用＊若使用靜電衣接地，兩袖之間的阻值亦要符合表二＊人員坐在椅子上，應以靜電手環系統接地＊站立工作者，可選用靜電手環系統或地板－鞋系統＊包含：靜電手環系統及地板－鞋系統說明：1.鞋包括腳接地器，鞋子及短襪2.當設備接地或輔助接地無法使用時，互相連接或電氣連接也能被使用3.根據IEC的測試顯示要40?106歐姆或更小才可限制人體電壓少於100V4..測試方法及推薦範圍參考ANSI／ESD S20.20 表二第9页/共27页 ESD防護技術要求/用品(例)說明：1.靜電手環系統(新品)的檢測允收標準為0.8?106Ω-1.2 ?106Ω2.靜電手環線及其接頭(新品)也要檢測,參考S20.20 表三第10页/共27页 技術要求-保護區＊無ESD保護覆蓋或包裝而處理ESDS零件，組件及設備，應在EPA內　進行。＊警告標示應張貼於人員進入EPA入口前，且清晰可見。＊限制進入EPA者，完成ESD訓練（或未受過訓練者由受訓過者帶　領）。＊為避免感應放電CDM損傷，ESD方案應包含流程必須用到的絕緣物　件之處理。＊所有非必要絕緣體必須自工作站取走。＊可使用離子風扇或其他減緩充電裝置所有製程必要緣緣體，中和靜電　場。＊溼度要考量（溼度?，靜電產生及累積?）。＊包含：工作表面，靜電帶，鞋，地板，座椅，離子設施，貨架，移動　設備，連續監視器，靜電衣。第11页/共27页 說明1.測試方法及推薦範圍參考ANSI/ESD S20.20 表三。2.EPA：Electrostatic Protected Area簡稱，可以是單一工作站（固定或 移動），實驗室，房間，建物或任何預先指定邊界包含物料及設備的 區域，用以限制靜電壓者。3.非必要的絕緣體是指塑膠或紙製品，如：杯子，食物封包及個人用 品。4.流程必要絕緣體如：ESDS裝置元件，PCB，元件載具及特殊工具…..5.所有必要絕緣體，如果帶有超出2000V的靜電場應離ESDS物件最少 12“以上或使用離子風扇中和放電。6.警告標示內容，例如：7.進入EPA的包裝材料及容器必須事先經