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本发明涉及一种抛光垫浇注模具,模具包括模具本体,模具本体内设有原料容纳腔,模具本体的顶部设有与原料容纳腔连通的浇注孔,模具本体的底部设有至少三个支脚,支脚与模具本体之间设有高度调节结构。与现有技术相比,该抛光垫浇注模具在使用过程中,可以通过浇注孔向原料容纳腔内浇注抛光垫原料,并依次控制多个高度调节结构调节支脚与模具本体,使得模具本体底部的每一个位置与模具放置台面的距离相等,即模具底部与模具放置台面完全平行,从而保证模具整体水平度良好,进而提高抛光垫浇注体厚度均一性;也可以在浇筑前调整模具本体的水
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116277664 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310281180.4 (22)申请日 2023.03.20 (71)申请人 上海芯谦集成电路有限公司 地址
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