双层悬浮红外热电堆及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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双层悬浮红外热电堆及其制备方法.pdf

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本发明提供一种双层悬浮红外热电堆及其制备方法，通过在红外吸收层吸收部下引入导热反射层，可提高吸收率，并将热量更快、更多地集中到热结端，有利于增大探测信号，提高探测性能；进一步的，通过设置预设牺牲层，使得具有较小宽度的刻蚀窗口即可形成具有较大宽度的隔热空腔，可提高热电堆的结构布局的灵活性，提高器件空间利用率；进一步的，可在最后一道步骤中同时形成双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。本发明的双层悬浮红外热电堆采用单面加工的加工方法，具有工艺简

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394331 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110662171.0 (22)申请日 2021.06.15 (71)申请人上海迷思科技有限公司