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本发明涉及一种铬版湿法清洗工艺干燥用异丙醇蒸汽回流装置,包括蒸汽干燥槽体与加热板,所述加热板安装于蒸汽干燥槽体的底部,所述蒸汽干燥槽体的顶部开设有矩形开口,矩形开口长边所对应的两侧壁内设有进气腔,进气腔的下端设有通孔与蒸汽干燥槽体内腔相通,进气腔靠近蒸汽干燥槽体内腔的侧壁上端安装有第一中空冷凝板,所述第一中空冷凝板的上下两端分别设有第一排水管与第一进水管,所述第一进水管与第一排水管均贯穿蒸汽干燥槽体侧壁,所述第一排水管的侧壁上设有负压支管;本发明提供的铬版湿法清洗工艺干燥用异丙醇蒸汽回流装置能够
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113418383 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110707598.8 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2021.06
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