一种真空预载气浮支承结构及其应用.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种真空预载气浮支承结构及其应用.pdf

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本发明公开了一种真空预载气浮支承结构及其应用，真空预载气浮支承结构，包括基板和浮板，所述基板的上端面向下凹陷形成真空腔，基板与浮板之间形成气膜间隙，基板内在真空腔下方设置有调节腔，调节腔与真空腔连通，调节腔的纵向截面呈凸形结构，所述调节腔的大端内设置有真空节流板，真空节流板的上端面设置有永磁体，所述永磁体能够在调节腔的小端内上下移动，真空节流板上设置有过孔，所述过孔与调节腔的小端错开设置，真空节流板的上端面与调节腔内壁之间形成真空节流口，所述真空腔通过真空节流口、过孔和抽气口与真空发生装置连通，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113417940 B (45)授权公告日 2022.04.01 (21)申请号 202110837254.9 CN 1789738 A,2006.06.21 (22)申请