晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质.pdf

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本申请提供一种晶圆图文件生成方法、装置、设备及存储介质，所述方法应用于中转设备中，中转设备分别与探针台和测试设备连接，所述方法包括：接收探针台发送的包括晶圆上待测试的第一芯片的位置信息的第一测试指令，根据第一测试指令向测试设备发送第二测试指令，以指示测试设备对第一芯片进行测试，接收测试设备发送的包括第一芯片的测试结果的第一测试响应指令，根据第一测试指令和第一测试响应指令生成预设文件规则的晶圆图文件。由于中转设备自定义了一种预设文件规则，因此中转设备无论通过何种类型的探针台进行晶圆测试，均能够生成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113393557 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110606202.0 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人深圳米飞泰克科技有限公司