布线结构和其制造方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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布线结构和其制造方法.pdf

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本公开涉及一种布线结构和其制造方法。所述布线结构包括上部导电结构、下部导电结构和重布结构。所述上部导电结构包括至少一个介电层和与所述介电层接触的至少一个电路层。所述下部导电结构包括至少一个介电层和与所述介电层接触的至少一个电路层。所述重布结构设置在所述上部导电结构与所述下部导电结构之间，以电连接所述上部导电结构与所述下部导电结构。所述重布结构包括介电结构和嵌入于所述介电结构中的重布层。所述重布层包括至少一个电路层。所述重布层的所述电路层的线宽小于所述上部导电结构的所述电路层的线宽和所述下部导电结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410207 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110281898.4 (22)申请日 2021.03.16 (30)优先权数据 16/821,83