传感器系统.pdfVIP

下载本文档

1
0
约2.22万字
约 27页
2023-06-22 发布于四川
举报
版权申诉

传感器系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

系统包括图像传感器结构和流动池。图像传感器结构包括设置在基底基板上方的图像层。设备堆叠设置在图像层上方。结合焊盘设置在设备堆叠中。钝化堆叠设置在设备堆叠和结合焊盘上方。纳米井的阵列设置在钝化堆叠的顶层中。硅通孔(TSV)与结合焊盘电接触。TSV延伸穿过基底基板。重分布层(RDL)设置在基底基板的底表面上。RDL与TSV电接触。流动池设置在钝化堆叠的顶层之上，以在它们之间形成流通道。流通道设置在纳米井的阵列和结合焊盘上方。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394240 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110637002.1 H01L 25/065 (2006.01)