一种壳核微探针及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种壳核微探针及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种壳核微探针及其制备方法，包括探针核，所述探针核包括自上至下依次同轴连接的安装部、主体和针尖，所述安装部和主体外包覆有探针壳，所述探针壳具有导电性。探针核的主要作用是保证探针强度、耐磨性等机械特性满足测试要求，探针壳主要作用是改善探针导电性能，满足高导电性的测试要求，不同部分材料不同，结合两部分材料各自的优点可以将探针尺寸做得很小。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113391101 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110449645.3 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人西安交通大学地址