一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备.pdf

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本发明涉及一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，包括气相反应室，气相反应室包括底座、隔热框架、气体入口、晶圆托盘和气体出口，底座固定设置在气相反应室的底部，隔热框架架设在底座的上方且与底座固定连接，晶圆托盘设置在底座的上表面，气体入口设置在隔热框架的顶部，气体出口设置在隔热框架的一个侧面；隔热框架的材料为改性石英。隔热框架用于隔绝反应室内的温度，从而保证反应的正常进行同时还能减少能源的浪费，晶圆托盘用于承载晶圆从而完成沉积，气体入口用于使反应气体导入反应室内，气体出口用于排出多余的气体。本发明的独特

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113355654 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110618277.0 (22)申请日 2021.06.01 (71)申请人北京市永康药业有限公司