一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法.pdf

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一种二维解耦力矩触觉传感器及MEMS制备方法。一种二维解耦力矩触觉传感器，包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；敏感块水平的四个侧面均依次设有角传感基板、弹性梁和支撑侧台，角传感基板的水平上表面设有上电极；玻璃基底内与上电极相应的位置均设有底部电极；上电极与相应的底部电极形成平行板电容器；支撑侧台与玻璃基底固定连接；敏感块受力矩可使角传感基板发生角度偏移，从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小，对于二维力矩的检测的灵敏度高。本发明的传感器可通过四个上电极与其对应的底部电极之间形成的四

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113340476 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110499686.3 (22)申请日 2021.05.08 (71)申请人杭州电子科技大学地址