压电振子容器和压电振子.pdfVIP

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本发明涉及压电振子容器和压电振子,避免基于离子铣削的内部布线的断裂。压电振子(1)在压电振子容器(2)内,侧臂型的压电振动片(6)的支撑臂部(9)装配于由金属突起形成的安装部(14),在进行基于离子铣削的频率调整后,由封口板(4)密闭。形成于底板(10)的底板内表面(10f)的内部电极(32)中,至少离子铣削下的开口窗(81)周边的一部分(远离开口窗(81)的一侧)在底板(10)与上框(11)之间形成,从而内部电极(32)的一部分由上框(11)覆盖。由此,内部电极(32)中未由上框(11)覆盖的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113381716 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110254299.3 (22)申请日 2021.03.09 (30)优先权数据

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