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一种便捷式光刻胶打胶装置.pdfVIP

一种便捷式光刻胶打胶装置.pdf

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    本发明公开了一种便捷式光刻胶打胶装置，涉及匀胶技术领域；包括压力罐、位于压力罐内的用以装胶水的胶杯、位于压力罐上的进气口、通过进气口输入氮气的加压机构、一端插入压力罐并位于胶杯内的出胶管、位于出胶管上的回吸阀。本发明的有益效果是：直接在压力罐里放胶杯，胶杯里放光刻胶。通过氮气压力，将光刻胶压出去。更换胶水时，只要清洗回吸阀和管路就好。比较便捷。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113351425 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110643357.1 (22)申请日 2021.06.09 (71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司

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