压电结构及其制造方法以及包括该压电结构的压电谐振器.pdfVIP

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2023-06-20 发布于四川
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压电结构及其制造方法以及包括该压电结构的压电谐振器.pdf

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本公开涉及具有优化的机电耦合系数的压电结构及其制造方法以及包括该压电结构的压电谐振器。根据本公开的压电结构可以包括以第一掺杂浓度掺杂有第一掺杂元素的压电层，其中第一掺杂浓度沿压电层的厚度方向以至少两种变化率变化，其中压电层沿其厚度方向具有连续变化的机电耦合系数。根据本公开，可以在不显著增加额外的工艺成本的情况下获得具有沿压电层厚度方向连续变化和/或周期变化的机电耦合系数的压电结构，最终提高包括该压电结构的压电谐振器的优值。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113328714 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110666170.3 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人苏州汉天下电子有限公司