一种自动升降旋摆机构及晶圆入料设备.pdfVIP

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2023-06-17 发布于北京
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一种自动升降旋摆机构及晶圆入料设备.pdf

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本发明提供一种自动升降旋摆机构，包括旋摆元件、升降机构、连杆机构和轨迹槽；升降机构包括第一升降部和第二升降部，第二升降部垂直升降；旋摆元件与第一升降部铰接形成第一铰接点，连杆机构包括相铰接的第一连杆和第二连杆，第一连杆的一端与旋摆元件铰接形成第二铰接点，且第二铰接点位于第一铰接点下方并滑动位于轨迹槽中，第二连杆另一端与第一升降部铰接，第二升降部与第二连杆固定连接，轨迹槽包括相连通的直线卡槽和开口端。所述自动升降旋摆机构通过一个动力机构实现旋摆元件的升降及旋转，且可以灵活调整旋摆元件的上升高度和旋

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116264179 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202111521383.3 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人苏州精濑光电有限公司地址 21