预防圆晶破裂的装置和预防方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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预防圆晶破裂的装置和预防方法.pdf

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本发明是关于一种预防圆晶破裂的装置和预防方法，其中，装置包括：高温反应腔，包括反应腔侧壁；反应基座，设置于高温反应腔的中心处，反应基座上设有晶圆，反应基座下方设有PIN升降板，设置晶圆升降PIN，其下端由PIN升降板运动顶起与下落，其上端抵住晶圆；第一传感器，位于PIN升降板上方，第一传感器包括第一发射器和第一接收器，第一发射器和第一接收器相对设置，晶圆升降PIN的下端位于第一发射器和第一接收器之间；光电转换器，与第一接收器连接，光电转换器能够获取第一接收器的光信号；其中，第一传感器的个数与晶圆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113161279 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110269673.7 (22)申请日 2021.03.12 (71)申请人拓荆科技股份有限公司